設備性能

可調傳動速度：0.5-3m/min

常規運行速度：2.5m/min

產能： Up to 4000/6800/8000 Wafers/H@20mm

設備有效利用率：≥98%

反射率：≤16%

碎片率：≤0.03%

硅片規格

硅片厚度：≥140 μm

硅片尺寸：156.75*156.75mm-212*212mm

設備尺寸 

長*寬*高：5060*2250*2120mm

長*寬*高：3710*2650*2120mm

長*寬*高：3810*3050*2200mm

工作寬度：965mm/1515mm/1911mm

傳輸高度：1000±25mm

模塊材料：PP,PVDF

傳動

傳動類型：5 lane/8 lane/10 lane

軸間距：50mm/60mm

主傳動軸：17mm,Hexagon

傳動滾輪：Φ32mm

方向

工作方向：Left→Right  / Right→Left（TBD）

電力供應

供電：AC380V 3PH+PE+N 50Hz（TBD）

控制電源：DC 24V

滿載電源：25A/48A

建議最大保險絲規格：48A/63A

安裝要求

最小地面承重：750Kg/㎡

最低車間高度：3.5m

無塵室級別：ISO7(10K Class)

環境溫度：17℃＜RT＜30℃

最大濕度：70%